一、產品簡介

ANELVA M-361CP-SP N25 真空計是真空行業經典的真空壓力測量設備，由真空規管與信號處理單元組成，用于檢測密閉腔體內部真空度。設備響應速度快，測量區間適配中高真空工況，廣泛應用于真空鍍膜、真空燒結、半導體工藝、真空檢漏等工藝場景，是真空工藝設備的核心監測儀表，為工藝參數調整提供可靠真空數據支撐。

二、真空測量原理

該真空計依托熱傳導原理實現真空檢測，規管內部帶有加熱絲與測溫元件。當腔體內部氣壓變化時，氣體分子密度改變，帶走加熱絲熱量的速率隨之變化，測溫元件采集溫度變化信號，經過主機換算，轉化為對應的真空壓力數值。氣壓越高，氣體導熱越強，熱絲溫度越低；真空度越高，氣體稀薄，散熱弱，熱絲溫度上升。信號經過電路補償、線性修正之后，輸出標準真空讀數，實現真空度連續監測。

三、安裝與校準要求

規管安裝位置需要避開氣流直吹、油霧直接沖刷區域，優先選擇腔體負壓穩定區域，保證測量數值代表腔體真實真空狀態。規管接口密封可靠，密封圈不能有劃痕、異物，防止漏氣造成讀數失真。使用、長時間停機重啟后，需要按照說明書執行零點校準，消除溫漂帶來的誤差。規管屬于消耗件，接觸油污、水汽、工藝粉塵會快速污染，污染后靈敏度下降，讀數漂移。

四、日常使用注意事項

腔體破真空操作時，控制充氣速率，避免氣流沖擊損傷規管內部熱絲。含有油蒸氣、腐蝕性工藝氣體的工況，需要增加前置過濾裝置，阻隔污染物。設備斷電前，優先關閉真空閥門，保護規管。定期比對標準真空儀表做校驗，當讀數明顯異常、響應遲緩時，優先排查規管污染情況，必要時更換規管。規范操作可以穩定真空測量精度，保障真空工藝穩定，減少工藝報廢風險。