一、復合規寬量程測量方案

M-361CP-SP N25 是佳能 ANELVA 經典二合一復合真空規，將皮拉尼規與冷陰極電離規集成在單一體內，一支真空傳感器完成從大氣壓、中真空到高真空區間的壓力檢測，不需要搭配兩支不同量程真空規，節省真空腔體安裝接口，降低真空系統泄漏風險。皮拉尼段在大氣壓附近響應快、穩定性好，冷陰極段負責高真空區間精準測量，內部自動完成量程切換，切換邏輯優化，減少切換點跳變、誤報停機問題，真空壓力讀數連續平滑，方便操作人員判斷腔體抽真空進程。

二、硬件接口與聯鎖控制功能

型號后綴 N25 代表標準 NW25 真空法蘭，適配主流真空管路標準，安裝拆裝便捷，密封可靠。儀表內置兩路繼電器輸出觸點，可以設置高低真空壓力閾值，實現真空聯鎖保護：真空度不達標時切斷工藝氣源、觸發報警、停止濺射鍍膜等工藝，避免真空異常造成工件報廢。信號輸出支持標準工業信號，可接入真空控制器、PLC，和整套真空工藝系統聯動，廣泛用于對真空條件要求嚴苛的半導體工藝。

三、穩定性與維護優勢

ANELVA 這款真空規在半導體行業使用多年，抗工藝氣體污染能力強，針對鍍膜、刻蝕工藝常見氣體環境做優化，耐受少量工藝副產物，相比普通真空規不容易快速污染失效。冷陰極結構無熱絲，不會出現熱絲燒斷故障，相比熱陰極電離規使用壽命更長，減少停機更換頻次。規頭拆卸簡單，污染后可單獨清潔電極組件，無需整體更換，降低 MRO 備件使用成本。規頭自帶狀態自檢功能，可識別異常放電、污染故障，方便提前預判維護節點。

四、安裝調試操作說明

設備安裝前，檢查法蘭密封面無劃痕、雜質，搭配適配的銅墊片或者氟橡膠密封件，均勻鎖緊卡箍，保證密封性能。安裝位置盡量避開氣流直沖、油霧直吹的區域，減緩規頭污染速度。上電之后，可配套真空控制器完成零點校準、量程確認，設置對應的聯鎖閾值。日常巡檢重點查看規頭放電狀態，定期拆檢清潔電極，清潔完成后重新做真空比對校準，保證測量精度持續達標，滿足工藝管控要求。