鎢燈絲在掃描電鏡里的定位

鎢燈絲屬于熱發(fā)射型掃描電鏡的核心電子源，是基礎(chǔ)款 SEM 常用的發(fā)射體，憑借成本低、更換簡單的優(yōu)勢，大量普及在高校、第三方檢測、企業(yè)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。燈絲狀態(tài)好壞，直接決定電子束穩(wěn)定性、圖像清晰度，也是電鏡日常維護(hù)中更換頻次較高的耗材。

MA113008 鎢燈絲基礎(chǔ)工作原理

MA113008 鎢燈絲依靠電流加熱，當(dāng)溫度達(dá)到閾值，鎢絲表面向外發(fā)射電子，電子經(jīng)過柵極、透鏡系統(tǒng)匯聚形成電子束，轟擊樣品表面，二次電子、背散射電子信號(hào)被探測器收集，轉(zhuǎn)化成微觀圖像。燈絲的發(fā)射電流、加熱溫度，是控制電子束品質(zhì)的核心參數(shù)。

縮短燈絲壽命的主要誘因

真空度不足是燈絲早衰最常見原因，殘余氣體和高溫鎢絲發(fā)生反應(yīng)，造成燈絲快速燒蝕；發(fā)射電流設(shè)置過高，長期超負(fù)荷加熱，加速鎢絲揮發(fā)；頻繁開關(guān)機(jī)、腔體放氣帶入水汽和有機(jī)污染物，附著在燈絲表面，局部過熱熔斷燈絲。易揮發(fā)樣品釋放的碳?xì)湮廴疚铮矔?huì)持續(xù)污染燈絲組件。

延長燈絲使用壽命的實(shí)操辦法

上機(jī)前保證電鏡腔體充分抽真空，等待真空達(dá)標(biāo)再開啟燈絲；在滿足測試成像的前提下，盡量設(shè)置偏低的發(fā)射電流；減少無必要的頻繁啟停燈絲。測試易揮發(fā)樣品時(shí)，加裝冷阱，降低碳污染，定期清潔鏡筒，減少污染物沉積。

燈絲更換與運(yùn)維提示

燈絲出現(xiàn)圖像抖動(dòng)、亮度不穩(wěn)、束流持續(xù)衰減，就需要安排更換。更換操作要做好靜電防護(hù)，佩戴無粉手套，避免手上油脂污染燈絲和柵極組件，裝配完成后充分烘烤抽氣，再逐步調(diào)試束流參數(shù)，保障電鏡穩(wěn)定運(yùn)行。