SEM 貴金屬靶材選擇的困擾

很多實(shí)驗(yàn)室在采購濺射靶材時(shí)，分不清鉑金靶與黃金靶的適用邊界，盲目選型容易出現(xiàn)成像達(dá)不到預(yù)期，或是耗材預(yù)算浪費(fèi)的情況。二者材質(zhì)本身物理特性差異明顯，鍍層晶粒大小、穩(wěn)定性、成本各不相同，需要結(jié)合樣品觀測(cè)要求來選擇。

黃金靶材的優(yōu)勢(shì)與短板

黃金靶材濺射速率快，價(jià)格友好，上手門檻低，鍍層導(dǎo)電性能優(yōu)秀，適合絕大多數(shù)中低倍率形貌觀察。缺點(diǎn)是黃金晶粒偏大，在超高放大倍數(shù)下，鍍層本身的顆粒紋理會(huì)疊加在樣品圖像上，掩蓋樣品真實(shí)納米級(jí)結(jié)構(gòu)，不適合精細(xì)微觀表征。

鉑金靶材的優(yōu)勢(shì)與短板

鉑金靶材化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，濺射生成的晶粒非常細(xì)微，鍍層均勻細(xì)膩，在十萬倍以上高分辨觀測(cè)時(shí)，鍍層自身干擾極小，可以清晰展現(xiàn)樣品納米結(jié)構(gòu)。同時(shí)鉑金不易氧化，耐受電子束轟擊，適合容易受熱損傷的軟質(zhì)樣品，缺點(diǎn)是單價(jià)偏高，耗材投入更大。

不同樣品對(duì)應(yīng)的選型方案

如果只是常規(guī)形貌、粉體粒徑、斷面觀察，放大倍數(shù)不高，優(yōu)先黃金靶，性價(jià)比更高；針對(duì)納米顆粒、薄膜、微小生物結(jié)構(gòu)，需要高倍率精細(xì)成像，選擇鉑金靶材。容易被電子束灼傷、熱敏感樣品，也優(yōu)先鉑金靶，降低測(cè)試對(duì)樣品的破壞。

實(shí)驗(yàn)室耗材管理建議

條件允許的實(shí)驗(yàn)室可以兩款靶材同時(shí)配備，常規(guī)樣品用黃金靶批量制樣，高分辨特殊樣品切換鉑金靶。做好靶材使用臺(tái)賬，記錄損耗速度，提前備貨，避免靶材耗盡耽誤樣品測(cè)試排期。